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  • 产品名称：SAMCO ICP 蚀刻设备 RIE-400iP

  • 产品型号：
  • 产品厂商：SAMCO萨姆肯
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简单介绍：
RIE-400iP 是 Max.4“ 晶圆的负载锁定蚀刻设备，用于各种半导体膜和绝缘膜的高精度、高均匀性。
详情介绍：

概述

RIE-400iP 是 Max.4“ 晶圆的负载锁定蚀刻设备，用于各种半导体膜和绝缘膜的高精度、高均匀性。 放电形式采用独特的龙卷风线圈感应耦合等离子体，可产生均匀的高密度等离子体。 此外，您还可以根据加工材料和加工内容选择合适的等离子源。

特点

新型ICP源「HSTC™： Hyper Symmetrical Tornado Coil」

高射频功率（2 kW 或更高）可高效、稳定地应用，以实现良好的均匀性。

大流量排气系统

通过采用与反应室直接相连的排气系统，实现了从小流量、低压区域到大流量、高压范围的各种工艺窗口。

支持端点监视器

它支持干涉型和发光光谱端点监视器，可在目标薄膜厚度下进行端点检测。

易于维护的设计

TMP（涡轮分子泵）和高频电源单元化，便于更换。

应用示例

• 化合物半导体（如 GaN、GaAs 和 InP）的高精度蚀刻

半导体激光器和光子晶体的制造

选项

干扰端点监视器

可实现高精度的端点检测，并控制蚀刻深度。

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