产品中心
产品详情
查看大图

  • 产品名称：SAMCO氯系气体对应的负载锁定式RIE装置RIE-200NL

  • 产品型号：
  • 产品厂商：SAMCO萨姆肯
  • 产品价格：0
  • 折扣价格：0
  • 产品文档：
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍：
RIE-200NL 是一种负载锁定设备，基于 RIE-10NR 的经验，该设备具有丰富的平行平板 RIE 设备交付记录。
详情介绍：

概述

RIE-200NL 是一种负载锁定设备，基于 RIE-10NR 的经验，该设备具有丰富的平行平板 RIE 设备交付记录。 该器件可高精度蚀刻各种硅薄膜（如 Si 和 Poly-Si）以及化合物半导体（如 GaN 和 GaAs）。 虽然价格低廉，但 PLC 控制可存储所有自动操作和过程参数，具有卓 越的高性能性价比。

特点

配备路锁室

氯气工艺是可能的。 此外，还实现了良好的工艺可重复性。

• 8“ 晶圆加工

虽然是紧凑设计的节省空间的设备，但可以加工高达 ±8“ 晶圆。

全自动驾驶

操作通过触摸屏实现全自动运行 ，通过PLC控制可进行过程管理和数据记录。

应用示例

• 各种硅薄膜的高精度蚀刻，如 Si、Poly-Si、SiO+ 和 SiN

蚀刻化合物半导体，如GaN、GaAs和InP

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

苏公网安备 32050502000409号