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  • 产品名称：塔玛萨崎SONIC索尼克液流计

  • 产品型号：超声波微液体流量计
  • 产品厂商：SONIC索尼克
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简单介绍：
IPA、纯水、化学溶液等半导体制造过程中微区域的流量管理 ·从1ml/min开始的微流量测定 ·通过数字信号处理进行微流量高精度测定 ·传感器部分与流体非接触的结构 · 宽范围能力
详情介绍：
产品规格
■微小液体流量计（传感器分离型）

μLF-300S

类型表达式 μLF-300S = μLT-8I （1/8 英寸） 或 μLF-300S = μLT-4I （1/4 英寸）
测量原理 超声波传播时差方法
测量液体 纯水、水溶液、各种化学溶液
* 对于水以外的液体，请事先确认
自适应流体温度范围 在 15°C 至 80°C
* 60°C 或更高温度下使用时，请提前确认
流体压力 0.5MPa 或更少
流体运动粘度 100mm^2/秒以下
流量范围 0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)
0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I)
测量精度 ±0.5%RD （1/8 英寸 ： 200 至 1000 毫升/分钟条件： 室温， 恒温水）
± 1 毫升/分钟 （1/8 英寸 ： 0 至 199 毫升/分钟）
± 0.5% RD （1/4 英寸）： 800 至 4000 毫升/分钟 条件： 室温， 恒温水）
± 4 毫升/分钟 （1/4 英寸）： 0 至 4 英寸 799ml/min)
可重复性 ±0.2%（纯、液温±0.5°C，30秒平均值）
电源 DC 24V ±10%
功耗 3.6W 或更少
重量 转换器 240g，检测单元 70g
尺寸 WxHxD（毫米） 转换器 97 x 49 x 127
检测单元 90 x 25 x 20（不包括管）
检测部
管材 PFA（氟树脂）
管径 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm
结构 相当于IP65
随附的电缆 5m，连接器连接
输入部分
数字输出 4 线 RS-422，4 线 RS-485
模拟输出 4-20mA（瞬时流量），负载电阻 500Ω 或更少
累计脉冲输出 1ch（开放式收集器）
报警输出 1ch（开放式收集器）
触点输入 1ch （ 零流量设定或累计** ）
按键输入 4 输入按钮
■微少液体流量計（一体型）

μLF-300

変換器
型式 μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch)
測定原理 超音波伝播時間差方式
被測定液体 純水、水溶液、各種薬液
* 水以外の液体の場合は事前にご確認ください
適応流体温度範囲 10℃～60℃
* 60℃以上の場合は事前にご確認ください
環境温度範囲　　    温度：0℃～50℃(結露がないこと）
流量範囲 0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-308I)
0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-304I)
測定精度 ±1%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min, 室温, 水の場合)
±2ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min)
±1%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min, 室温, 水の場合)
±8ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min)
繰返し性 ±0.2% (液温±0.5℃, 30秒平均値)
応答性 10 msec 
構造 屋内仕様 (IP65相当) 
電源 DC 5V ±10% 
消費電力 1.5W以下 
重量 350g (本体部のみ)
检测部
管材 PFA（氟树脂）
管径

1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm

1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm 

输出部分
串行端口 4 线 RS-422
通信协议 数据位 8 位固定，偶数奇偶校验固定，停止位 1 位固定
波特率 38400 baud
串行输出内容 瞬时流量值、累计流量值、错误代码
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