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  • 产品名称：日本SAKAGUCHI坂口电热带热电偶 （ T/C） 晶圆

  • 产品型号：带热电偶 （T/C） 晶圆
  • 产品厂商：SAKAGUCHI坂口电热
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简单介绍：
日本SAKAGUCHI坂口电热特点 非常适合测量晶圆的温度分布和管理温度。 所有产品都是按订单生产的产品。
详情介绍：

用途

  • 制造设备和辅助设备（热板、基座等）的开发和检测
  • 设置制造条件
  • 监控制造流程
  • 提高生产率（优化循环时间等）

标准规格（按订单生产所有产品）

大小 支持 300mm 晶圆
基板材料 硅、加里希索、玻璃、阿尔蒂克等
使用温度 室温至 1200 度（MAX）

热电偶 （T/C）
类型 K 型、R 型等
护套规格 0.25mm 或更多
线材规格 0.10mm 或更多
T/C 数 支持所需的测量点数
绝缘材料 玻璃纤维、硅玻璃纤维、石英珠、氟树脂管等
终端 满足您的要求，如专用连接器。

注意
1） 热电偶的尖1端安装部分不应施加超过 1 根 2.5N （0.25 kgf） 的力。
2） 在还原气体和氧化气体环境中使用时，请事先检查材料的使用寿命。

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