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  • 产品名称:代理Osakavacuum大阪真空涡轮分子泵TG1400F

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  • 产品厂商:OSAKAVACUUM大阪真空
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简单介绍:
■ 任何方向 ■ 体积小巧 ■ 节能 ■ 快速启动 ■ 带排气阀快速关闭 ■ 耐用的空气突气结构 ■ 串口通讯 ※RS232C串口
详情介绍:

应用

■ 半导体生产

■ 电子枪排气、电离源排气

■ 平板显示器制造

■ 表面处理、表面改性

■ 各种电子元件的制造

■ 分析、检测设备

■ 灯具生产、光学元件生产

■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究

■ 热处理

■ 研究与开发

*如果排出腐蚀性气体,请选择我们的化学用TG-M或TG系列。





入口法兰 VG200
ISO-B200
CF200
体积流量 N2(升/秒) 1400
N2
(带防护屏)
(升/秒)
1300
H2(升/秒) 750
*大压缩
N2 1×108
H2 4.3×103
基础压力 (帕)
(托尔)
<1×10-6
<7.5×10-9
*大吞吐量※1 (SCCM) 450
启动时间 (分钟) 5.5-7
关机时间 (分钟) 15-18
*大背衬压力 (帕/托尔) 330/2.5
推荐的后级
真空泵
(升/分钟) ≧250
位置 任何方向
重量 VG・ISO-B/CF(KG) 29/30
控制器 TC1103

*1 : 使用500L/min的前级真空泵时。

[使用环境温度]

确保达到极限压力的环境温度范围为 10-23°C。风冷型允许环境温度为10-32°C,水冷型允许环境温度为10-40°C。确保极限压力的冷却水的*高温度为30°C,冷却水的允许温度范围为10-35°C。


联系人:李先生 13402684488(微信同号)
罗茨真空泵、油封旋转真空泵、液环真空泵、油扩散泵、喷射器、干式真空泵、真空系统、真空设备


无锡代理Osakavacuum大阪真空涡轮分子泵TG1400F




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