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  • 产品名称：代理日本MIKASA旋转涂布机MS-B200

  • 产品型号：
  • 产品厂商：MIKASA旋转涂布机
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简单介绍：
旋转涂布机涂布机.com（Mikasa）的产品使用交流伺服电机，因此无刷，因此在洁净室中污染良好，通过降低电机的发热，在连续使用时，由于温度升高，薄膜厚度再现性也难以受到影响。
详情介绍：

产品规格

*大电路板尺寸 φ8英寸晶圆或150×150mm基板
转速（rpm） 20～5,000
旋转精度 ±1rpm（负载时）
电机 交流伺服电机
盖 聚碳酸酯
旋转室内径 φ360mm
步骤模式数 100 步× 10 模式
时间设置 999.9sec
**联锁 真空标准盖
标准设备
滴落设备 选项
使用真空压力 -0.08～-0.1MPa
电源 AC100～240V　5A
外形尺寸（mm） 500W×335H×583D
重量 28kg

* 规格如有更改，恕不另行通知。

支持选项

<定制类型> >支持<的型号
自动滴落装置（空气驱动） 1 臂 ○
2 臂 ○
自动滴落装置（支架类型）   ○
边缘冲洗   ○
反向冲洗   ○
排气管   ○
废液排放   ○
盖子限位开关   ○
特氟龙涂层加工   ○
添加电机废热风扇   ○
紧急停止开关   ○
大功率电机    

膜厚分布数据

膜厚分布数据

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使用的型号 MS-B200
薄膜厚度测量设备 菲梅特里克斯F50
电阻 OFPR-800LB（东京应化社制）
电路板尺寸 φ8英寸硅晶片
目标厚度 1μm
薄膜厚度分布 ±0.5％
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