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  • 产品名称：日本进口MIKASA旋转刮涂机MS-B300

  • 产品型号：
  • 产品厂商：MIKASA旋转涂布机
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简单介绍：
光刻.com从旋涂机（涂布机）到掩模对准器（曝光装置），以及用于开发和蚀刻的研究实验室机器。 此外，作为测量，我们还处理各种测量机，用于薄膜厚度测量、阶梯测量、线宽和形状测量。
详情介绍：

产品规格

*大电路板尺寸 φ12英寸晶圆或200×200mm基板
转速（rpm） 20～5,000
旋转精度 ±1rpm（负载时）
电机 交流伺服电机
盖 聚碳酸酯
旋转室内径 φ500mm
步骤模式数 100 步× 10 模式
时间设置 999.9sec
**联锁 真空标准盖
标准设备
滴落设备 选购件（*多可安装 2 个臂）
使用真空压力 -0.08～-0.1MPa
电源 AC200 至 240V 单层 5A
外形尺寸（mm） 545W×432H×654D
重量 55kg
选项 居中夹具

* 规格如有更改，恕不另行通知。

膜厚分布数据

膜厚分布数据

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使用的型号 MS-B300
电阻 OFPR-800LB（东京应化社制）
电路板尺寸 φ12英寸硅晶片
目标厚度 1μm
薄膜厚度分布 ±0.8％
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