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  • 产品名称：日本AMAYA天谷制作所12 英寸连续常压CVD设备AMAX1200

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  • 产品厂商：AMAYA天谷制作所
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简单介绍：
●12英寸~56张/时的吞吐量 ●采用SiC托盘的重金属污染对策
详情介绍：
特点

它是传统 AMAX 系列的*大直径 12 英寸晶圆处理设备。

A63 型分散头
中的 SiH 经过优化，可在低温常压下更有效地进行热化学反应4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反应的后混合方法，
提供优异的薄膜厚度均匀性和杂质浓度均匀性。

SiC 托盘的采用使重金属污染不难发生。 此外，由于热量，工艺性能
稳定，老化较少。

标准配备托盘自动更换功能，可缩短操作员的**性和维护时间。
此外，通过采用自动提升头底座的机制，可以轻松进行
清洁。

性能
薄膜厚度均匀性 ≦±3.0%
支持的晶圆尺寸 12 英寸
气体种类 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉积温度 350～430℃
生产力 ~56张/小时
主要规格

设备尺寸 2165mm(W) x 4788mm(D) x 2250mm(H)
加热机构 电阻加热
卸载 机器人CtoC输送
分散头
（气体喷嘴） 		A63 头（标准 3 头）
沈阳代理AMAYA天谷制作所12 英寸连续常压CVD设备AMAX1200

天津代理AMAYA天谷制作所12 英寸连续常压CVD设备AMAX1200

昆山代理AMAYA天谷制作所12 英寸连续常压CVD设备AMAX1200

上海代理AMAYA天谷制作所12 英寸连续常压CVD设备AMAX1200

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