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  • 产品名称：国内销售AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜装置

  • 产品型号：
  • 产品厂商：AMAYA天谷制作所
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简单介绍：
● 低温 （150~300°C） 处理 ● 形成 高品质的SiO2膜 低应力 、 无等离子体损伤 、 小颗粒 • 降低 导入和维护成本 小占地面积 、 无需 真空 · 等离子体处理 ● 价格低廉 气相沉积设备
详情介绍：
特点

4.5 代玻璃基板沉积设备，支持刚性和柔性设备，如 FPD。

搭载了2台成膜有效宽度760mm的气头，采用吸附式加热台，
实现了温度控制性±3%以内。

4.5 代玻璃基板可在 250°C 下以 25 片/小时或更高的吞吐量沉积 100nm SiO2 膜，
确保薄膜厚度均匀性在 10% 以内。

性能
薄膜厚度均匀性 ±10%
支持的晶圆尺寸 4.5 代
气体种类 SiH4, O3, PH3, B2H6
沉积温度 150～300℃
主要规格

设备尺寸 1300mm(W) x 7350mm(D) x 2000mm(H)
气头 搭载2个成膜有效宽度760mm气头
苏州代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜装置

常州代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜装置

昆山代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜装置

武汉代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜装置

南京代理AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜装置


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