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  • 产品名称：HAMAMASTU滨松VUV-LED 光源单元 L12542

  • 产品型号：
  • 产品厂商：HAMAMASTU滨松
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简单介绍：
塔玛萨崎电子（苏州）有限公司销售HAMAMASTU滨松VUV-LED 光源单元 L12542
详情介绍：

特点和用途

特点

  • 较大的辐照（中和）区域
    •  
  • 在真空中高效生成离子
    •  
  • 无需气流
    •  
  • 无过冲（不产生相反极性的静电荷）
    •  
  • 无粉尘和电磁噪声排放
    •  
  • 使用寿命长

用途

  • 卸除静电卡盘
    •  
  • 半导体制造设备（真空工艺）
    •  
  • LCD 制造设备
    •  
  • 有机 EL 制造设备
    •  
  • 硬盘制造设备
    •  
  • 薄膜制造设备

静电电荷去除效果

中和时间与距离

 

 

 

中和时间与真空度

 

 

 

详细参数

总评级

参数 说明/值 单位
光谱分布 115 至 400 nm
窗材 MgF2 －
冷却方法 以风扇强制风冷 －
工作温度范围 +10 至 +40 ℃
储存温度范围 0 至 +60 ℃
工作湿度范围 低于 80%（无冷凝） －
储存湿度范围 低于 85%（无冷凝） －

推荐的操作条件和特性（25°C 时）

参数 说明/值 单位
预热时间 25±5 s
光源保证使用寿命① 2000 h
输入电压（交流） 100 V 至 240 V（100 V/200 V 自动切换），单相 50 Hz/60 Hz －
功耗（*大值） 90 VA

①寿命终止是指 230 nm 处的光输出下降至低于其初始值的 50% 的时间。请注意，光输出衰减很大程度上取决于真空设备的环境。
* 更换光源时，请注明型号 L12565。

光谱分布

 

 

 

指向性（光分布）

 

 

 

外形尺寸图（单位：mm）

光源（重量：约 530 g）

电源（重量：约 1.8 kg）

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