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  • 产品名称：MIKASA旋转涂膜仪MS-B150 刷涂机实验仪器

  • 产品型号：
  • 产品厂商：MIKASA旋转涂布机
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简单介绍：
使用交流伺服电机，因此无刷，因此在洁净室中污染良好，通过降低电机的发热，在连续使用时，由于温度升高，薄膜厚度再现性也难以受到影响。
详情介绍：

产品规格

*大电路板尺寸 φ6英寸晶圆或100×100mm基板
转速（rpm） 20～7,000
旋转精度 ±1rpm（负载时）
电机 交流伺服电机
盖 丙烯酸
旋转室内径 φ290mm
步骤模式数 100 步× 10 模式
时间设置 999.9sec
**联锁 真空标准盖
选项
滴落设备 选项
使用真空压力 -0.08～-0.1MPa
电源 AC100～240V　5A
外形尺寸（mm） 352W×303H×432D
重量 16kg

* 规格如有更改，恕不另行通知。

支持选项


<定制类型> >支持<的型号
自动滴落装置（空气驱动） 1 臂 ○
2 臂 ○
自动滴落装置（支架类型）   ○
边缘冲洗   ○
反向冲洗   ○
排气管   ○
废液排放   ○
盖子限位开关   ○
特氟龙涂层加工   ○
添加电机废热风扇   ○
紧急停止开关   ○
大功率电机  

对准曝光机
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋转涂布机
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）
显影刻蚀装置
AD-1200
AD-3000
ED-1200
ED-3000


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