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  • 产品名称：MIKASA旋转涂层机MS-B100

  • 产品型号：MIKASA 旋转涂层机MS-B100
  • 产品厂商：MIKASA旋转涂布机
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简单介绍：
由于旋涂机应用机（MIKASA）的产品由于使用交流伺服电机而无刷，因此在洁净室中的污染性非常出色，并且通过减少电机的发热，在连续使用过程中很难因温度升高而影响薄膜厚度的再现性。
详情介绍：

产品规格

*大电路板尺寸 φ4英寸晶圆或75×75mm基板
速度（转/分） 20~8，000
旋转精度 ±1转/分（负载时）
发动机 交流伺服电机
盖 丙烯酸
旋转室直径 φ220毫米
步进模式数 100 步× 10 种模式
时间设置 999.9秒
**联锁 真空标准
盖可选
滴水装置 不可连接
使用的真空压力 -0.08~-0.1兆帕
权力 交流100~240V 5A
外部尺寸（毫米） 259W×246H×330D
重量 10公斤

* 规格如有更改，恕不另行通知。

支持的选项

<定制类型> <兼容型号>
・自动滴水装置（气动型） 1 臂  
2 臂  
・自动滴水装置（支架式）    
・漱边    
・背部冲洗    
・排气管   ○
・废液排放   ○
・邻苯二甲酰亚胺开关   ○
・特氟龙涂层   ○
・增加电机余热风扇   ○
・急停开关   ○
・大功率电机    


薄膜厚度分布数据






使用的型号 MS-B100
薄膜厚度测量装置 菲尔计量 F50
抵抗 OFPR-800LB （东京大鹿）
电路板尺寸 φ4英寸硅片
目标膜厚度 1微米
薄膜厚度分布 ±0.8%
选型支持 技术服务 售后安装调试维修

苏州代理MIKASA 旋转涂层机MS-B100

南京代理MIKASA 旋转涂层机MS-B100

常州代理MIKASA 旋转涂层机MS-B100

上海代理MIKASA 旋转涂层机MS-B100

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