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  • 产品名称：代理销售MIKASA旋转涂层机MS-B300

  • 产品型号：MIKASA 旋转涂层机MS-B300
  • 产品厂商：MIKASA旋转涂布机
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简单介绍：
由于旋涂机应用机（MIKASA）的产品由于使用交流伺服电机而无刷，因此在洁净室中的污染性非常出色，并且通过减少电机的发热，在连续使用过程中很难因温度升高而影响薄膜厚度的再现性。
详情介绍：


产品规格

*大电路板尺寸 φ12英寸晶圆或200×200mm基板
速度（转/分） 20~5，000
旋转精度 ±1转/分（负载时）
发动机 交流伺服电机
盖 聚碳酸酯
旋转室直径 φ500毫米
步进模式数 100 步× 10 种模式
时间设置 999.9秒
**联锁 真空标配设备盖标配设备
滴水装置 可选（*多可连接 2 个臂）
使用的真空压力 -0.08~-0.1兆帕
权力 AC200~240V 单层 5A
外部尺寸（毫米） 545W×432H×654D
重量 55公斤
选择 定心夹具

* 规格如有更改，恕不另行通知。

支持的选项

<定制类型> <兼容型号>
・自动滴水装置（气动型） 1 臂 ○
2 臂 ○
・自动滴水装置（支架式）    
・漱边   ○
・背部冲洗   ○
・排气管   ○
・废液排放   ○
・邻苯二甲酰亚胺开关   ○
・特氟龙涂层   ○
・增加电机余热风扇   ○
・急停开关   ○
・大功率电机   ○


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苏州代理MIKASA 旋转涂层机MS-B300

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