OTSUKA大塚椭圆光谱仪 FE-5000/5000S|塔玛萨崎电子（苏州）有限公司

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产品名称：OTSUKA大塚椭圆光谱仪 FE-5000/5000S
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产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：

塔玛萨崎电子（苏州）有限公司OTSUKA大塚 Zeta电位，粒径，分子量测量系统 ELSZneo OTSUKA大塚椭圆光谱仪 FE-5000/5000S

详情介绍：

特征

可在紫外可见光（300~800nm）波长范围内进行椭圆参数测量。
能够对纳米量级的多层薄膜进行膜厚分析
通过 400 个或更多通道的多通道光谱快速测量椭圆光谱
用于薄膜详细分析的可变反射角测量
通过创建光学常数数据库和添加配方注册功能来提高可操作性

测量项目

椭圆参数（tanψ， cosΔ）测量
光学常数（n：折射率，k：消光系数）分析
膜厚分析

测量对象

半导体晶片
栅极氧化薄膜、氮化物薄膜
SiO₂，Si x Oy，SiN，SiON，SiNx，Al₂O₃罪_xO_y，多晶硅，硒化锌，BPSG，TiN
光刻胶光学常数（波长色散）
化合物半导体
铝_x加语_（1-x）作为多层，非晶硅
FPD
取向膜
各种新材料
DLC（类金刚石碳）、超导薄膜、磁头薄膜
光学薄膜
TiO₂，SiO₂，防反射膜
在 G 线（436nm）、H 线（405nm）和 I 线（365nm）
等波长下进行光刻 N，K 评估

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