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  • 产品名称：合肥 TOKYO KEISO东京计装面积流量计吹扫仪P-810

  • 产品型号：东京计装P-810
  • 产品厂商：TOKYO KEISO东京计装
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简单介绍：
合肥 TOKYO KEISO东京计装面积流量计吹扫仪P-810非常适合测量半导体制造过程中各种气体的流速。 采用外密封，可靠性高。 丰富的各种设备使用经验。 还有经过电解抛光处理和低泄漏的**类型。
详情介绍：

合肥 TOKYO KEISO东京计装面积流量计吹扫仪P-810主要用途

  • · 用于半导体制造设备气体
  • · 适用于泄漏敏感管路

合肥 TOKYO KEISO东京计装面积流量计吹扫仪P-810标准规格

测量流体 一般气体，
液体（水当量：密度1.0g/cm³，粘度1.0mPa・s）
流量范围
空气：
*小 5~50 毫升/分钟（挪威） *大 6~60 升/分钟（挪威）
水：
*小 5~50 毫升/分钟 *大 0.2~2 升/分钟
・流量范围的换算方法请参考P型功能和选择（TG-S0001）。
即时报价范围 10 : 1
指示精度 ±3% FS
流体压力 *大 0.8 MPa
流体温度 *高 120°C（取决于包装材料）
材料
主体接液部件：
SCS14 （标准）， SUS316 （电解抛光）
锥形管 ：
耐热玻璃
包装：
氟橡胶（*高120°C） 氯丁橡胶（*高80°C）

・每种包装材料的*高流体温度为一般数据，可能因使用条件和环境而异。
安装板 ：
不锈钢304系列
盖：
透明聚氯乙烯
连接标准/口径 遥控 ： 1/4“ （典型）， 1/8” NPT： 1/4“， 1/8” 宽： 1/4“， 3/8” 录像机 ： 1/4“， 3/8”
安装方式 面板前锁紧螺母安装（标准）
带挡板的面板安装
质量 约0.6公斤
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