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  • 产品名称：MDCOM 株式会社MEUTHW-9-330 UV清洗装置塔玛萨崎电子

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  • 产品厂商：MDCOM株式会社
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MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUT-3-500塔玛萨崎电子主要用途玻璃、薄膜、晶圆、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布机、喷涂预处理 抗残渣、有机物灰化
详情介绍：


MDCOM 株式会社UV清洗装置MEUTHW-9-330塔玛萨崎电子主要用途玻璃、薄膜、晶圆、光掩模等的清洗，表面改性CVD、涂布机、喷涂预处理 抗残渣、有机物灰化

VUV清洗效果 清洗效果达到****的洁净沉程度。PET薄膜从照射前的75.6度大幅降低到14.7度；原片玻璃从照射前的46.1度大幅降低到5度。一尘不染，洁净如新。

  • 三大步骤

    除去有机物，增加表面的活性化、亲水化；工件的粘着性和紧密性大幅度提高；UV清洗是不会破坏表面以及不会形成腐蚀孔的无损伤清洗方式。

    1

    切断

    切断有机物分子：172nm光子能量切断有机物分子的结合(表面改质･硬化)

    CmHnOK →Cm‘Hn ‘ Ok’

    2

    吸收与分解

    被氧吸收和分解：172nm被氧吸收，生成活性氧和臭氧，臭氧再分解生成活性氧 O2+hν→O (1D)O3+hν → O2+O (1D)

    3

    结合

    氧化分解为亲水基：被切断了化学结合的原子和活性氧结合，氧化分解、挥发后，生成亲水基 CO2, H2O, OH-



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参考规格

苹果 XE（氙气）准分子灯*1
波长 172纳米 *1
安装的灯具数量 1*2起的定制设计
有源发射长度 150毫米~2500毫米
光。。。。。。。。。。。。 标准 70毫瓦/平方英寸以上 *4
光。。。。。。。。。。。。 高照度 120毫瓦/平方英寸以上 *4
光。。。。。。。。。。。。 内管水冷高照度 170毫瓦/平方英寸以上 *4
照度均匀性 ± 10% 以内
阵容
梅特 标准照度（70mW/cm2），水冷系统（电源和灯座）
梅乌塔 标准照度 （70mW/cm2），风冷
默斯 高照度（120mW/cm2），水冷系统（电源和灯座）
默特 大面积体辐照装置（带石英窗）
梅斯-WC 内管水冷高照度（170mW/cm2）水冷系统（电源和灯座，内管电极）
*5
■ 注
*1 波长选项：222nm
*2 灯管数量、有效长度、照射设备尺寸：定制*3 支持以 10mm 灯管有效长度为增量进行定制
。 对于有效长度为1700mm或以上，两个灯以交错排列的方式排列
*2 点亮后立即测量大气管表面（通过照度计C4/H9536-9535测量）*172 内管冷却需要纯水（每盏灯5L/min）






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