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产品详情
简单介绍:
MITAKA三鹰光器 3D面轮廓粗糙度测定PF-60可实现50倍折射率测量速度的扫描自动AF功能和高精度自动XY载物台,以亚微米级测量精度实现数十毫米宽范围的高速测量。
它非常适合测量横截面曲线无法检测到的精密加工零件的翘曲、成型品中的形状缺陷以及摩擦学中磨损和划痕的定量评估。
详情介绍:
国内总代MITAKA三鹰光器 3D面轮廓粗糙度测定PF-60
测量概述
PF-60由用于Z轴高度测量的自动对焦(AF)显微镜和用于扫描的高精度XY载物台组成。
高度方向上的位置由AF显微镜测量,并通过在XY载物台上移动工件来捕获XYZ坐标以测量形状。
高度方向上的位置由AF显微镜测量,并通过在XY载物台上移动工件来捕获XYZ坐标以测量形状。
扫描XY载物台
由于充分利用高精度XY载物台读取坐标轴,因此可以在可移动范围(60 mm x 60 mm)内进行连续测量。 由于没有视场范围等测量精度,因此无需将测量数据拼接在一起,并且可以进行大范围的高精度测量。
点焦点表达式
用于高度测量的AF显微镜中包含的激光束通过上图所示红线的光路中的物镜,并以半径为0.5μm的激光探头的形式在测量工件的表面上形成图像。
激光探头在工件表面上的反射光再次穿过物镜并在AF传感器上形成图像,但是当激光探头从焦点位置移动时,AF传感器上的光斑位置也会发生变化。 自动对焦传感器实时检测光斑的位置位移,并通过操作自动对焦轴机构定位自动对焦显微镜,使光斑始终位于传感器的中心。
激光探头在工件表面上的反射光再次穿过物镜并在AF传感器上形成图像,但是当激光探头从焦点位置移动时,AF传感器上的光斑位置也会发生变化。 自动对焦传感器实时检测光斑的位置位移,并通过操作自动对焦轴机构定位自动对焦显微镜,使光斑始终位于传感器的中心。
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