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产品详情
简单介绍:
小型激光探针单元MP系列
非接触式测量在任何环境中进行非接触式精密测量
通过将其集成到加工机或在线设备中,可以在机器上进行形状测量,这通常是在单独的过程中进行的,有助于提高超精密加工的精度和质量控制的合理化。
详情介绍:
国内总代MITAKA三鹰光器非接触精密激光探针MP系列
长处
小型激光探针单元
非接触式测量
0 mm 范围,01.0 μm (001.10 μm) 分辨率,不会
损坏工件 超小激光光斑:1μm(100倍)
高速/高精度测量实现
陡坡形状测量
内置CCD摄像头可以看到测量点,可以测量
金属、玻璃、陶瓷、塑料等各种工件。 (可与图像处理测量链接)
非接触式测量
0 mm 范围,01.0 μm (001.10 μm) 分辨率,不会
损坏工件 超小激光光斑:1μm(100倍)
高速/高精度测量实现
陡坡形状测量
内置CCD摄像头可以看到测量点,可以测量
金属、玻璃、陶瓷、塑料等各种工件。 (可与图像处理测量链接)
测量功能
在机器上进行机上测量
・超精密模具(非球面透镜、液晶导光板等)的加工误差测量、切削刃位置的亚μm测量
、使用晶圆器进行槽宽/深度管理
、使用晶圆器进行槽宽/深度管理
生产线上的形状测量
・测量引线框架翘曲和步差、
测量晶圆边缘形状、浆料的使用量管理
不放在测量机上的大型零件的形状测量
・凹槽形状、划痕形状、表面粗糙度测量
、大型模具形状
变化、磨损量管理
、大型模具形状
变化、磨损量管理
规范
设备尺寸(宽、深、高)
约150x200x200mm
设备重量
约 5 公斤
运动范围 (自动对焦)
10毫米
自动对焦轴刻度分辨率
0.01微米
测量原理
点自动对焦 ISO-25178-605
激光
λ = 635nm 输出,1mW 或更低
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