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  • 产品名称：总代HORIBA崛场半导体质量流量模块D700MG

  • 产品型号： D700MG
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
总代HORIBA崛场半导体质量流量模块D700MG流量控制器 高响应压力非敏感质量流量器关键的半导体制造过程不断要求**的气体流量控制设备，以实现未来的**，以及**的存储和逻辑设备的实验室到工厂的过渡。HORIBA公司提出了新的基于压力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型号，以支持客户的挑战。
详情介绍：

总代HORIBA崛场半导体质量流量模块D700MG 国内各区域销售



  • 总代HORIBA崛场半导体质量流量模块D700MG

  • 工具上气体和全尺寸配置更改 *仅 EtherCAT 

    • 为流程优化提供灵活性

  • 100 ms 响应速度和mfc到mfc的偏差控制

    • 提供高生产力和更大的过程性能

  • 小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）

    • 为需要小流量的工艺提供灵活性

  • PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性能

    • 稳定性性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量

  • 状态监控功能

    • 为更智能的故障预测提供更多的内部数据

*1 流量精度可低至2 SCCM，因此实际气体低于2 SCCM以下不保证精度。
*2 在25℃和≤ 1.0 × 10-3 Pa (A)条件下的保证值。
*3 设定时间为 MFC 输出信号和 N2 气体。其他细节定义遵循“SEMI标准 E17-1011章节 4.1.4”的设定时间。
*4 压力扰动必须小于 20% 的压力变化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*5 EtherCAT® 是注册商标和**技术，由德国 Beckhoff Automation GmbH 授权。



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