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  • 产品名称:HORIBA崛场一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE

  • 产品型号: Auto SE
  • 产品厂商:HORIBA堀场
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简单介绍:
国内总代HORIBA崛场一键式全自动快速椭偏仪 Auto SEAuto SE是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮,几秒钟内即可自动完成样品测量和分析,并提供完整的薄膜特性分析报告,包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。Auto SE全自动化设计、一键式操作,功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析,自动切换微光斑,多种附件可选,以满足不同的应用需求。
详情介绍:

HORIBA崛场一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE 国内各区域供应

概要:

  • 全自动流程,薄膜分析更容易
  • 高性能系统
  • 光斑可视化,微光斑可至25x60 µm
  • 功能齐全和灵活
  • 智能诊断
配置:
  • 光谱范围:440-1000nm
  • 光斑尺寸:7个尺寸微光斑全自动切换500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
  • 探测系统:CCD,分辨率2nm
  • 样品台:真空吸盘,Z轴行程40mm
  • 光斑可视系统:CCD摄像机-视野1.33x1 mm-分辨率10µm
  • 量角器:固定角70°,也可选择66°或61.5°
  • 多种附件可选
  • 测试时间:<2s,常规为5s
  • 准确性:NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
  • 重复性:NIST 15nm ± 0.2 Å

Auto SE - 自动化薄膜测量工具

Auto SE-HORIBA

一键式全自动快速椭偏仪

Auto SE是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮,几秒钟内即可自动完成样品测量和分析,并提供完整的薄膜特性分析报告,包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。

Auto SE全自动化设计、一键式操作,功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析,自动切换微光斑,多种附件可选,以满足不同的应用需求。

Auto SE借助完整的操作向导,自动检测并诊断问题,对故障进行处理,仪器维护简单

Auto SE是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。


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