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产品详情
简单介绍:
HORIBA堀场非接触式化学药液浓度计CS-900
下一代湿法制程。HORIBA 提供提升产能的化学药液浓度管理设备,以帮助改进制程。
为达到半导体湿法制程中所需的严格化学药液浓度控制,HORIBA 通过设计紧凑设备,以及通过其原有传感器设计保持稳定测量和确保操作人员**,实现更强大功能以满足需求。
详情介绍:
国内HORIBA堀场非接触式化学药液浓度计CS-900国内各区域供应
全部无接触,高度稳定
从外部将传感器直接连接到 PFA 管路,实现零污染。这消除了在安装传感器时进行管路施工的要求,从而减少化学事故。此外,通过升级光学系统,设备变得更加紧凑,同时保留 CS-600F*1 的原始规格。
高质量、稳定测量
- 零污染
- 配备温度补偿功能,实现稳定测量
- 配备 HORIBA 原始算法,补偿气泡影响
- 重复性和稳定性与常规的 CS-600*1 相同
抑制振动效应
- HORIBA 采用抗错位强的光学系统结构,与 HORIBA 的原始管路结构协同配合。
节省空间
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光源和光学传感器已集成至样品单元。
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平板显示器(9.6cm x 9.6cm)
光源寿命更长
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使用 LED 灯,延长使用寿命(5 年质保期)
提高工作**性
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每半年一次的背景校正补偿周期
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安装产品时无需安装管路,有助于减少化学药液泄漏等事故。
*1 CS-600 是 HORIBA 的光纤型化学药液浓度计。
不使用光纤的光学设计和主机,加上传感器的缩小提升了安装的自由度
对于宽温度范围(20℃ 至 80℃)的化学药液,可进行直接、稳定的测量
稳定性
测量条件
测量频率:每 3 秒
移动平均数:16 次
温度:室温
管径:3/4 英寸
初始样品浓度
NH3 : 0.95% H2O2 : 5.15% H2O: 93.9%
测量结果
样品(实际液体)测量 1 小时,展示出良好的稳定性。
易于装卸
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