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  • 产品名称：Auto SE - 自动化薄膜测量工具HORIBA堀场总代

  • 产品型号： Auto SE
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
Auto SE - 自动化薄膜测量工具HORIBA堀场总代 Auto SE是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮，几秒钟内即可自动完成样品测量和分析，并提供完整的薄膜特性分析报告，包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。Auto SE全自动化设计、一键式操作，功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析，自动切换微光斑，多种附件可选，以满足不同的应用需求。
详情介绍：

Auto SE - 自动化薄膜测量工具HORIBA堀场国内总代

  • 光谱范围：440-1000nm
  • 光斑尺寸：7个尺寸微光斑全自动切换500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
  • 探测系统：CCD，分辨率2nm
  • 样品台：真空吸盘，Z轴行程40mm
  • 光斑可视系统：CCD摄像机-视野1.33x1 mm-分辨率10µm
  • 量角器：固定角70°，也可选择66°或61.5°
  • 多种附件可选
  • 测试时间：<2s，常规为5s
  • 准确性：NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
  • 重复性：NIST 15nm ± 0.2 Å

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