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UVISEL PLUS椭圆偏振光谱仪研究级HORIBA一手
UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪为先进薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合。
UVISEL Plus作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型,它采用了PEM 相位调制技术,与机械旋转部件技术相比, 能提供更好的稳定性和信噪比。光谱范围从190nm到2100nm。
UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技术,可在3分钟以内实现高分辨的样品测试(190-2100 nm),校准仅需几分钟。基于全新的电子设备,数据处理和高速单色仪,FastAcq技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。FastAcq专门为薄膜表征设计,双调制技术可以确保您获得优异的测试结果。
相位调制技术的独有特点为高频调制 50 kHz,信号采集过程无移动部件:
相比于采用 旋转元件调制的传统椭圆偏振光谱仪,UVISEL Plus的相位调制模式在表征薄膜方面具有更高的灵敏度和精度。它不仅可以探测到其他椭偏仪无法观测到的极薄膜或界面,还可以表征50µm的厚膜。
在测试有背反射的透明样品时,测试简单、准确,无需刮花背面。
UVISEL Plus还设计有多种附件及可选功能,便于客户根据应用需求及预算选择合适的配置。比如,微光斑用于图案样品、自动变角器、自动样品台等。
UVISEL Plus采用模块化设计,可灵活扩展。即可用于离线台式测量,也可以耦合于镀膜设备做在线监控。
UVISEL Plus可根据习惯选择操作界面,一个是 DeltaPsi2 具有建模和拟合处理功能;另一个是 Auto-Soft 用户导向的全自动样品测试界面 ,工作流程直观,易于非专业人士操作。
UVISEL Plus搭载FastAcq技术是材料研究和加工、平板显示、微电子和光伏领域中优选通用光谱型椭偏仪。
UVISEL Plus是材料科学研究的理想工具。
产品优势
获得的信息
UVISEL 规格
手动配置
自动配置
集成型量角器
在线配置
选配
性能
光谱范围从FUV到NIR:190-2100nm