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  • 产品名称：小坂膜厚仪探针接触台阶高度仪ET200A-3D

  • 产品型号： ET200A-3D
  • 产品厂商：KOSAKA小坂台阶仪
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简单介绍：
国内总代日本小坂KOSAKA台阶仪微细形状测定机ET200A-3D 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨 损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET200A 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
详情介绍：

日本小坂KOSAKA 台阶仪 微细形状测定机ET200A-3D 华东总代 产品详细信息




日本小坂KOSAKA 台阶仪 | 微细形状测定机ET200A概述

ET200A基于Windows 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析，包括半 导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、 薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高 精度表面形貌分析应用。ET200A 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨 损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET200A 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

它是2D表面粗糙度分析和阶梯测量的理想选择，可实现高精度，高分辨率和出色的稳定性，并且还支持测量力小的软样品表面。

  • ET200A：表面粗糙度分析和阶梯测量的理想选择
  • ET200A-D：配备电动Y轴单元
  • ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和阶跃差测量的理想选择
*大样本量 Φ160×厚度52毫米
再现性 1σ  0.3nm以内
测量范围 Z轴：600微米 X：100毫米
分辨率 Z轴：0.1纳米 X：0.1微米
测量力 10μN~500μN


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