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  • 产品名称：小坂台阶仪膜厚仪探针接触式ET200A-3D

  • 产品型号： ET200A-3D
  • 产品厂商：KOSAKA小坂台阶仪
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简单介绍：
小坂台阶仪膜厚仪探针接触式ET200A-3D国内总代 它是2D表面粗糙度分析和阶梯测量的理想选择，可实现高精度，高分辨率和出色的稳定性，并且还支持测量力小的软样品表面。 ET200A：表面粗糙度分析和阶梯测量的理想选择 ET200A-D：配备电动Y轴单元 ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和阶跃差测量的理想选择
详情介绍：

小坂台阶仪膜厚仪探针接触式ET200A-3D国内总代

设备特点：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析，包括
半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、
薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高
精度表面形貌分析应用。ET200A 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨
损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET200A 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色
CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。


它是2D表面粗糙度分析和阶梯测量的理想选择，可实现高精度，高分辨率和出色的稳定性，并且还支持测量力小的软样品表面。

  • ET200A：表面粗糙度分析和阶梯测量的理想选择
  • ET200A-D：配备电动Y轴单元
  • ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和阶跃差测量的理想选择
*大样本量 Φ160×厚度52毫米
再现性 1σ  0.3nm以内
测量范围 Z轴：600微米 X：100毫米
分辨率 Z轴：0.1纳米 X：0.1微米
测量力 10μN~500μN
规格
一、样品台：
1. 样品台尺寸：φ160mm
2. 大工件尺寸：φ200mm
3. 大工件厚度：52mm
4. 大工件重量：2kg
5. 倾斜调整范围：±2°(±5mm/160mm)
6. 样品台材质：黑色硬质铝
7. 手动旋转：360°(手动粗调)、±5°(微调，小约0.5°)
二、传感器（pick up）：
1. 原理：直动式传感器 （业界**）
2. Z方向测定范围：Max. 600µm
3. Z方向小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时)
4. 测定力： 10uN ~500uN
5. 触针半径：2 µm 60° 钻石针头 （另有多种可选）
6. 驱动方式：直动式
7. 再现性：1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)
三、X 轴 (基准轴/测量轴)：
1. 移动量(大测长)：100mm (±50mm)
2. 真直度：0.2µm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)
3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s
4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1µm
5. 位置重复误差：±5um
四、Z轴：1. 移动量：54mm
2. 移动速度：max.2.0mm/S
3. 检出器自动停止机能
六、Y轴：（手动定位用）
1. 移动量：25mm（±12.5mm）
七、工件观察：
1. 彩色1/3”CCD，x4物镜倍率
2. 综合倍率：约320倍 (使用19” monitor时)
3. 视野：1.2*0.9mm
4. 观察方向：右侧斜视
5. 照明：白色LED（可使用软件调整明暗度）
八、软件功能简介：
1. 型号：i-STAR31
2. 可设定测量条件菜单、重复测量设定、解析菜单
3. 可设定下针座标，实现定位后自动测量及解析功能
4. 可设定低通滤波，过滤噪音及杂讯
5. 具有返回测量启始点功能
6. 显示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、纵方向1~10,000倍
7. 解析功能：主要图型、段差解析、粗糙度解析、内应力分析、内建多种段差解析菜单可
选
九、床台：一体花岗岩
十、防振台(选购)：落地型或桌上型
十一、电源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA
十二、本体外观尺寸及重量：
W500×D440×H610mm, 120kg，一体花岗岩低重心结构

(不含防震台)

Kosaka小坂ET200A粗糙度三维6寸台阶仪总代




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