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日本KOSAKA小坂台阶仪的广泛应用|塔玛萨崎电子（苏州）有限公司中国代理店

日期：2025-05-01 05:23
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摘要：针对半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力分析--KOSAKA小坂台阶仪 株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，也是日本**家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为*具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位 ET200A配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
针对半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力分析--就选择日本KOSAKA小坂台阶仪|塔玛萨崎电子（苏州）有限公司中国代理店

株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，也是日本**家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为*具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位

ET200A配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。






传感器（pick up）：

1.原理：直动式传感器（业界**）

2. Z方向测定范围：Max. 600µm

3. Z方向*小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时)

4. 测定力：10uN ~500uN

5. 触针半径：2 µm60°钻石针头（另有多种可选）

6. 驱动方式：直动式

7. 再现性：1σ= 0.2nm(1um以下台阶时)

三、X 轴(基准轴/测量轴)：

1. 移动量(*大测长)：100mm(±50mm)

2. 真直度：0.2µm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s

4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率0.1µm

5. 位置重复误差：±5um

七、工件观察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物镜倍率

2. 综合倍率：约320倍(使用19”monitor时)

3. 视野：1.2*0.9mm

4. 观察方向：右侧斜视

5. 照明：白色LED（可使用软件调整明暗度）

八、软件功能简介：

1. 型号：i-STAR31

2. 可设定测量条件菜单、重复测量设定、解析菜单

3. 可设定下针座标，实现定位后自动测量及解析功能

4. 可设定低通滤波，过滤噪音及杂讯

5. 具有返回测量启始点功能

6. 显示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、纵方向1~10,000倍

7. 解析功能：主要图型、段差解析、粗糙度解析、内应力分析、内建多种段差解析菜单可

选

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