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  • 苏州塔玛萨崎售日本ACE追小压力计AP160
    AP160Mは半導体製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度を自動制御することによって、配管内の圧力を自動調整するコントローラです。圧力センサを内蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。*大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソ レノイドバルブをパルス幅変調により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設 定圧力に達します。圧力ロ継手は1／4"VCR相当品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導体プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。
  • 苏州塔玛萨崎售日本ACE追小压力计AP150
    AP150Nは空気や窒素等の不活性ガスを制御対象として、配管内の圧力や流量を制御するのに適したコントローラです。 圧力センサを内蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありませんが、別のセンサを取付け、利用することも可能です。 *大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種類があります。AP150Nモデルは比例ソレノイドバルブをパルス幅変調により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設定圧力に達します。
  • 苏州塔玛萨崎售日本ACE*小压力计AP100
    P100N 搭载世界*小压力设定单元 气缸等气压由1台控制 一般用压力控制器 微小流量型AP100N 是一款控制器，适用于控制空气和氮气等惰性气体的内部压力，如气缸和相对较小的储罐，通过控制两个开/关阀的打开时间来调节压力。 内置压力传感器，无需向外部添加传感器，但也可以安装和使用其他压力传感器。 *大控制压力约为 650kPa，具体取决于连接的气缸等内部容量，但大约在 0.5 秒内达到设定压力。
  • 苏州塔玛萨崎售日本ACE大流量计DPFC500
    中流量から大流量まで対応 素子の選定により50NLMから500NLMまで対応可能 全流方式の流量計測・制御であり、流入するｶﾞｽの一時的な水分混入や凝縮に強い 高速実流量応答制御実現 ｶﾞｽ系の温度・圧力情報も出力できるため、ｶﾞｽ供給系の診断に*適
  • 苏州塔玛萨崎售日本ACE大流量计DPFM-500
    中流量から大流量まで対応 素子の選定により50NLMから500NLMまで対応可能 全流方式の流量計測・制御であり、流入するｶﾞｽの一時的な水分混入や凝縮に強い 高速実流量応答制御実現 ｶﾞｽ系の温度・圧力情報も出力できるため、ｶﾞｽ供給系の診断に*適
  • 苏州塔玛萨崎售日本ACE大流量计DPFC250
    中流量から大流量まで対応 素子の選定により50NLMから500NLMまで対応可能 全流方式の流量計測・制御であり、流入するｶﾞｽの一時的な水分混入や凝縮に強い 高速実流量応答制御実現 ｶﾞｽ系の温度・圧力情報も出力できるため、ｶﾞｽ供給系の診断に*適
  • 苏州塔玛萨崎售日本ACE大流量计DPFM-250
    中流量から大流量まで対応 素子の選定により50NLMから500NLMまで対応可能 全流方式の流量計測・制御であり、流入するｶﾞｽの一時的な水分混入や凝縮に強い 高速実流量応答制御実現 ｶﾞｽ系の温度・圧力情報も出力できるため、ｶﾞｽ供給系の診断に*適
  • 苏州塔玛萨崎售日本ACE大流量计AFC-150
    中流量から大流量まで対応 素子の選定により50NLMから500NLMまで対応可能 全流方式の流量計測・制御であり、流入するｶﾞｽの一時的な水分混入や凝縮に強い 高速実流量応答制御実現 ｶﾞｽ系の温度・圧力情報も出力できるため、ｶﾞｽ供給系の診断に*適
  • 苏州塔玛萨崎售日本ACE大流量计AFC-250
    中流量から大流量まで対応 素子の選定により50NLMから500NLMまで対応可能 全流方式の流量計測・制御であり、流入するｶﾞｽの一時的な水分混入や凝縮に強い 高速実流量応答制御実現 ｶﾞｽ系の温度・圧力情報も出力できるため、ｶﾞｽ供給系の診断に*適
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